 |
| Количество: | |
|---|---|
Вакуумная печь для осаждения
Вакуумная печь для осаждения используется для приготовления углерод-углеродных композиционных материалов, а печь для осаждения в основном используется для приготовления пиролитического углеродного покрытия на поверхности графита, полупроводниковых приборов и термостойких чистящих материалов.
Область применения:
Графит, полупроводниковые приборы, термостойкие чистящие материалы.
1. Основные параметры:
1) Расчетная температура: 1250℃/1650℃/1800℃/2200℃.
2) Общая температура: 900~1200℃.
3) Степень вакуума: <50 Па.
4) Скорость повышения давления: 6,67 пА/ч (или 150 Па/24 ч) в холодном состоянии и пустой печи.
5) Режим нагрева: графитовый резистивный нагрев или индукционный нагрев, независимый контроль температуры, хорошая однородность температуры.
6) Атмосфера: вакуум /CH4/C3H6/H2/N2/Ar.
7) Режим управления газом: контроль массового расходомера, многоканальный газовый тракт, равномерное поле потока, отсутствие мертвого угла осаждения, хороший эффект осаждения;
Многоступенчатая и эффективная система очистки выхлопных газов, экологически чистая, легко очищается;
8) Тип печи: квадратная, круглая, вертикальная или горизонтальная конструкция (нестандартная конструкция), полностью закрытая камера осаждения, хороший эффект уплотнения, сильная защита от загрязнения;
9) Режим охлаждения печи: водяное охлаждение корпуса печи, можно выбрать систему быстрого охлаждения с внешней циркуляцией, короткое время охлаждения, высокая эффективность производства;
2. Конструкция печи вакуумного осаждения:
Форма конструкции: горизонтальная – боковой выпуск, вертикальный – верхний/нижний выпуск.
Режим блокировки дверцы печи: ручной/автоматический
Материал корпуса печи: внутренняя нержавеющая сталь/полностью нержавеющая сталь.
Изоляционный материал: углеродный войлок/графитовый войлок/войлок, обработанный углеродным волокном.
Материал нагревателя, муфеля: графит/CFC
Инфракрасный прибор: одиночный колориметрический/двойной колориметрический.
Источник питания: KGPS/IGBT (подходит только для среднечастотного нагрева)
3、Продукт Спецификация
Параметр/номер модели. | GJC-0305-C | GJC-0505-C | GJC-0608-C | GJC-0612-C | GJC-0812-C | GJC-1120-C | GJC-1218-C | GJC-1520-С |
Размер рабочей зоны φ×В(мм) | 300×500 | 500×500 | 600×800 | 600×1200 | 800×1200 | 1100×2000 | 1200×1800 | 1500×2000 |
Самая высокая температура （℃） | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 |
Равномерность температуры（℃） | ±5 | ±5 | ±5/±7,5 | ±7,5/±10 | ±7,5/±10 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±15/±20 |
Предельная степень вакуума（Па） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
Скорость повышения давления （Па/ч） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
Метод нагрева | · Сопротивление/индукция | Сопротивление/индукция | Сопротивление/индукция | Сопротивление/индукция | Сопротивление/индукция | Сопротивление/индукция | Сопротивление/индукция | Сопротивление/индукция |
Вакуумная печь для осаждения
Вакуумная печь для осаждения используется для приготовления углерод-углеродных композиционных материалов, а печь для осаждения в основном используется для приготовления пиролитического углеродного покрытия на поверхности графита, полупроводниковых приборов и термостойких чистящих материалов.
Область применения:
Графит, полупроводниковые приборы, термостойкие чистящие материалы.
1. Основные параметры:
1) Расчетная температура: 1250℃/1650℃/1800℃/2200℃.
2) Общая температура: 900~1200℃.
3) Степень вакуума: <50 Па.
4) Скорость повышения давления: 6,67 пА/ч (или 150 Па/24 ч) в холодном состоянии и пустой печи.
5) Режим нагрева: графитовый резистивный нагрев или индукционный нагрев, независимый контроль температуры, хорошая однородность температуры.
6) Атмосфера: вакуум /CH4/C3H6/H2/N2/Ar.
7) Режим управления газом: контроль массового расходомера, многоканальный газовый тракт, равномерное поле потока, отсутствие мертвого угла осаждения, хороший эффект осаждения;
Многоступенчатая и эффективная система очистки выхлопных газов, экологически чистая, легко очищается;
8) Тип печи: квадратная, круглая, вертикальная или горизонтальная конструкция (нестандартная конструкция), полностью закрытая камера осаждения, хороший эффект уплотнения, сильная защита от загрязнения;
9) Режим охлаждения печи: водяное охлаждение корпуса печи, можно выбрать систему быстрого охлаждения с внешней циркуляцией, короткое время охлаждения, высокая эффективность производства;
2. Конструкция печи вакуумного осаждения:
Форма конструкции: горизонтальная – боковой выпуск, вертикальный – верхний/нижний выпуск.
Режим блокировки дверцы печи: ручной/автоматический
Материал корпуса печи: внутренняя нержавеющая сталь/полностью нержавеющая сталь.
Изоляционный материал: углеродный войлок/графитовый войлок/войлок, обработанный углеродным волокном.
Материал нагревателя, муфеля: графит/CFC
Инфракрасный прибор: одиночный колориметрический/двойной колориметрический.
Источник питания: KGPS/IGBT (подходит только для среднечастотного нагрева)
3、Продукт Спецификация
Параметр/номер модели. | GJC-0305-C | GJC-0505-C | GJC-0608-C | GJC-0612-C | GJC-0812-C | GJC-1120-C | GJC-1218-C | GJC-1520-С |
Размер рабочей зоны φ×В(мм) | 300×500 | 500×500 | 600×800 | 600×1200 | 800×1200 | 1100×2000 | 1200×1800 | 1500×2000 |
Самая высокая температура （℃） | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 |
Равномерность температуры（℃） | ±5 | ±5 | ±5/±7,5 | ±7,5/±10 | ±7,5/±10 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±15/±20 |
Предельная степень вакуума（Па） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
Скорость повышения давления （Па/ч） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
Метод нагрева | · Сопротивление/индукция | Сопротивление/индукция | Сопротивление/индукция | Сопротивление/индукция | Сопротивление/индукция | Сопротивление/индукция | Сопротивление/индукция | Сопротивление/индукция |
