 |
| Количество: | |
|---|---|
Подходит для массового производства материалов, осаждаемых из паровой фазы, таких как оксид кремния;Высокоточный контроль разницы температур, высокоэффективная печь;С сублимацией в высоком вакууме, реакцией, обезжириванием, обезвоживанием, автоматическим шлифованием материала из паровой фазы, сбором в печи и другими специальными технологическими возможностями.
Особенности оборудования:
Большой объем материала, высокая эффективность производства.
Весь процесс полностью закрытый и автоматический, чтобы избежать летания пыли, а производственная площадка чистая и опрятная. Температура контролируется в пределах 1500 градусов, а скорость нагрева высокая.
Может поддерживать стабильную работу в вакууме.
Конструкция печи | |
Размер зоны постоянной температуры | Размеры 500 мм*600 мм, 600 мм*800 мм, 700 мм*1000 мм, 800 мм*1600 мм и т. д. (можно настроить в соответствии с потребностями клиента) |
корпус печи | Внутренняя и внешняя двухслойная конструкция водяного охлаждения, а также контактная часть охлаждающей воды, изготовленная из нержавеющей стали 304, эффективно предотвращают возникновение утечки газа в корпусе печи в течение длительного времени. |
Сублимационная система | Зона нагрева состоит из индукционной катушки, тяжелого корунда, графитового войлока и изостатического графита.Зона сбора состоит из нержавеющей стали 310S и изоляционного слоя. |
система контроля температуры | Используя режим централизованного управления с сенсорным экраном ПЛК, автоматическое управление с помощью сетевого порта позволяет осуществлять дистанционное управление. |
Отопительная система | Применен индукционный нагрев, а источником питания является энергосберегающий источник питания IGBT с низким уровнем шума и экономией энергии примерно на 15% по сравнению с традиционным тиристорным источником питания. |
Он состоит из многоступенчатого вакуумного насоса, вакуумного клапана, регулятора давления и трубопровода. | |
Система охлаждения | Оснащен закрытой системой охлаждения, внутренняя циркуляция деионизированной водой, не вызывает образования накипи в трубопроводе оборудования, потери воды во внутренней циркуляции невелики, внешняя циркуляция с водопроводной водой, автоматическое долив воды, отвод тепла при запуске вентилятора;Хороший эффект рассеивания тепла, комплексная защита окружающей среды, небольшая занимаемая площадь и так далее. |
Оборудование состоит из системы сублимации, системы сбора, системы нагрева, системы контроля температуры, вакуумной системы, механической системы и системы охлаждения. | |
Преимущества
1. Высокая температурная стабильность: печь для осаждения оксида кремния может наносить пленку оксида кремния при высокой температуре с хорошей стабильностью при высоких температурах.Это позволяет добиться точного процесса осаждения в условиях высоких температур, обеспечивая качество и однородность наносимой пленки.
2. Точный контроль температуры. Печь для осаждения оксида кремния оснащена усовершенствованной системой контроля температуры, которая обеспечивает точный контроль температуры.Это очень важно для процесса осаждения оксида кремния, поскольку контроль температуры напрямую влияет на свойства и качество осаждаемых пленок.
3. Высокий вакуум. Печь для осаждения оксида кремния обеспечивает среду высокого вакуума, которая позволяет эффективно удалять кислород и другие примеси.Это помогает обеспечить чистоту процесса осаждения и избежать влияния примесей на свойства наносимой пленки.
4. Равномерное осаждение. Печь для осаждения силосного оксида обеспечивает равномерное осаждение, что обеспечивает однородность осаждаемой пленки.Это важно для приложений, требующих высокой однородности, таких как полупроводники и оптоэлектроника.
5. Гибкость: печи для нанесения оксида кремния обладают высокой гибкостью и могут быть отрегулированы и оптимизированы в соответствии с различными потребностями.Например, такие параметры, как скорость осаждения и контроль атмосферы, можно настроить в соответствии с требованиями различных материалов и применений.
Таким образом, печь для осаждения оксида кремния обладает преимуществами высокой температурной стабильности, точного контроля температуры, высокого вакуума, равномерного осаждения и гибкости, что делает ее идеальным устройством для осаждения пленки оксида кремния.
Приветствуем клиентов, напишите нам или позвоните нам Чтобы ознакомиться с нашей продукцией, тепло приветствуем клиентов со всего мира, которые могут посетить нашу фабрику и сделать заказ.Мы можем настроить оборудование в соответствии с требованиями заказчика, можем использовать бренд клиента, можем предоставить клиентам индивидуальные сертификаты.Если у вас возникнут любые запросы или вопросы, пожалуйста, свяжитесь с нами, спасибо!
Подходит для массового производства материалов, осаждаемых из паровой фазы, таких как оксид кремния;Высокоточный контроль разницы температур, высокоэффективная печь;С сублимацией в высоком вакууме, реакцией, обезжириванием, обезвоживанием, автоматическим шлифованием материала из паровой фазы, сбором в печи и другими специальными технологическими возможностями.
Особенности оборудования:
Большой объем материала, высокая эффективность производства.
Весь процесс полностью закрытый и автоматический, чтобы избежать летания пыли, а производственная площадка чистая и опрятная. Температура контролируется в пределах 1500 градусов, а скорость нагрева высокая.
Может поддерживать стабильную работу в вакууме.
Конструкция печи | |
Размер зоны постоянной температуры | Размеры 500 мм*600 мм, 600 мм*800 мм, 700 мм*1000 мм, 800 мм*1600 мм и т. д. (можно настроить в соответствии с потребностями клиента) |
корпус печи | Внутренняя и внешняя двухслойная конструкция водяного охлаждения, а также контактная часть охлаждающей воды, изготовленная из нержавеющей стали 304, эффективно предотвращают возникновение утечки газа в корпусе печи в течение длительного времени. |
Сублимационная система | Зона нагрева состоит из индукционной катушки, тяжелого корунда, графитового войлока и изостатического графита.Зона сбора состоит из нержавеющей стали 310S и изоляционного слоя. |
система контроля температуры | Используя режим централизованного управления с сенсорным экраном ПЛК, автоматическое управление с помощью сетевого порта позволяет осуществлять дистанционное управление. |
Отопительная система | Применен индукционный нагрев, а источником питания является энергосберегающий источник питания IGBT с низким уровнем шума и экономией энергии примерно на 15% по сравнению с традиционным тиристорным источником питания. |
Он состоит из многоступенчатого вакуумного насоса, вакуумного клапана, регулятора давления и трубопровода. | |
Система охлаждения | Оснащен закрытой системой охлаждения, внутренняя циркуляция деионизированной водой, не вызывает образования накипи в трубопроводе оборудования, потери воды во внутренней циркуляции невелики, внешняя циркуляция с водопроводной водой, автоматическое долив воды, отвод тепла при запуске вентилятора;Хороший эффект рассеивания тепла, комплексная защита окружающей среды, небольшая занимаемая площадь и так далее. |
Оборудование состоит из системы сублимации, системы сбора, системы нагрева, системы контроля температуры, вакуумной системы, механической системы и системы охлаждения. | |
Преимущества
1. Высокая температурная стабильность: печь для осаждения оксида кремния может наносить пленку оксида кремния при высокой температуре с хорошей стабильностью при высоких температурах.Это позволяет добиться точного процесса осаждения в условиях высоких температур, обеспечивая качество и однородность наносимой пленки.
2. Точный контроль температуры. Печь для осаждения оксида кремния оснащена усовершенствованной системой контроля температуры, которая обеспечивает точный контроль температуры.Это очень важно для процесса осаждения оксида кремния, поскольку контроль температуры напрямую влияет на свойства и качество осаждаемых пленок.
3. Высокий вакуум. Печь для осаждения оксида кремния обеспечивает среду высокого вакуума, которая позволяет эффективно удалять кислород и другие примеси.Это помогает обеспечить чистоту процесса осаждения и избежать влияния примесей на свойства наносимой пленки.
4. Равномерное осаждение. Печь для осаждения силосного оксида обеспечивает равномерное осаждение, что обеспечивает однородность осаждаемой пленки.Это важно для приложений, требующих высокой однородности, таких как полупроводники и оптоэлектроника.
5. Гибкость: печи для нанесения оксида кремния обладают высокой гибкостью и могут быть отрегулированы и оптимизированы в соответствии с различными потребностями.Например, такие параметры, как скорость осаждения и контроль атмосферы, можно настроить в соответствии с требованиями различных материалов и применений.
Таким образом, печь для осаждения оксида кремния обладает преимуществами высокой температурной стабильности, точного контроля температуры, высокого вакуума, равномерного осаждения и гибкости, что делает ее идеальным устройством для осаждения пленки оксида кремния.
Приветствуем клиентов, напишите нам или позвоните нам Чтобы ознакомиться с нашей продукцией, тепло приветствуем клиентов со всего мира, которые могут посетить нашу фабрику и сделать заказ.Мы можем настроить оборудование в соответствии с требованиями заказчика, можем использовать бренд клиента, можем предоставить клиентам индивидуальные сертификаты.Если у вас возникнут любые запросы или вопросы, пожалуйста, свяжитесь с нами, спасибо!
