Диффузионные печи для высокотемпературного кремния представляют собой оборудование для термообработки, которое формирует кремнийсодержащие слои на поверхности или внутри материалов посредством диффузии или проникновения расплавленных кремниевых элементов в высокотемпературных средах. Они широко используются в области производства кремния.