Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) — это разновидность химической технологии, в которой в основном используется одно или несколько газообразных соединений или элементов, содержащих тонкопленочные элементы, для получения тонкой пленки посредством химической реакции на поверхности подложки.Печь химического осаждения из паровой фазы - это новая технология подготовки в